RTP快速退火爐已經(jīng)成為半導(dǎo)體、鐵電體以及鍍膜行業(yè)的重要退火技術(shù)。但是目前，只有大型的、昂貴的生產(chǎn)設(shè)備才能完成快速熱處理，這大大降低了研發(fā)工作的效率（尤其是小的樣品）。為了滿足市場的需求，ADVANCE RIKO研發(fā)出MILA-5000系列的小型快速退火爐。此系列的設(shè)備包含紅外金面反射爐和高精度的溫度控制器。根據(jù)需求選配相應(yīng)的泵和氣體接口，MILA能提供與大型RTP設(shè)備相同的熱處理性能。

產(chǎn)品型號：MILA-5000Series

更新時間：2024-11-07

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

高溫快速熱退火爐

RTP快速退火爐

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產(chǎn)品介紹

RTP快速退火爐特點：

快速加熱及冷卻能力；

可在任意氣氛中使用；

實時觀測試樣；

精確的溫度控制；

RTP快速退火爐技術(shù)參數(shù):

型號	MILA-5000Series
溫度范圍：	室溫~1200℃（zui高）
zui大加熱功率：	50℃/s（50~1200℃）真空 45℃/s（50~1200℃）氮氣氛圍
溫度均勻性：	±2.0℃（ΔT=4℃）1200℃真空 ±4.5℃（ΔT=9℃）1200℃氮氣氛圍
加熱氣氛:	大氣、真空、惰性氣氛環(huán)境下
試樣尺寸:	MAX：50 square or φ 50 x T5 (mm)
程序模組：	溫度VS時間設(shè)定、Step數(shù)256、Program數(shù)32（zui大）； PID+Fuzzy控制、自動微調(diào)、USB通訊、自動/手動切換；

凱戈納斯儀器商貿(mào)（上海）有限公司是由瑞典Hot Disk有限公司注資成立的，是一家朝氣蓬勃的儀器商貿(mào)公司,在市場上享有良好的聲譽。公司成立近二十年來，致力于成為熱物性設(shè)備的系統(tǒng)供應(yīng)商，主要業(yè)務(wù)是在中國和一些鄰國開發(fā)、制造并銷售瑞典Hot Disk品牌熱常數(shù)分析儀。

上一個：LaserPITAC法熱擴散率測量系統(tǒng)